электростатический Chuck (ESC)

Trek amplifiers (e.g. Trek 645, Trek 646) are used to apply AC and DC voltages to the electrode(s) of coloumbic or Johnsen-Rahbek electrostatic chucks which are used to clamp semiconductor wafers or flat panel displays during device processing and handling operations.

Усилители Trek (например, Trek 645, Trek 646) используются для подачи напряжения переменного и постоянного тока на электрод (ы) колумбических или электростатических патронов Johnsen-Rahbek, которые используются для зажима полупроводниковых пластин или плоских дисплеев во время обработки устройств и операций с ними.